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一种用于直接驱动式射频电源的接合系统包含第一端子，该第一端子被连接至射频信号供应引脚，该射频信号供应引脚被连接至直接驱动式射频信号产生器的输出端。该接合系统还包含第二端子，该第二端子被连接至等离子体处理室的线圈。该接合系统包含连接在该第一端...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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