温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

所公开的实施方式描述了一种包括光源、光学传感器和处理设备的系统。所述光源在第一时间期间，将探测光通过窗口引导到处理腔室中。所述光源在第二时间期间，停止将所述探测光通过所述窗口引导到所述处理腔室中。所述光学传感器在所述第一时间期间，检测第一光...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。