下载一种半导体器件及横向SiC-JFET器件的制备方法的技术资料

文档序号:41246642

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本申请实施例提供了一种半导体器件及横向SiC‑JFET器件的制备方法。半导体器件包括:基底;第二掺杂类型的第二外延层;隔离层,位于所述第二外延层之上,所述隔离层在预设位置设置有栅极位置开窗;在所述栅极位置开窗的内侧边缘形成相对设置的两个栅极...
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