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本申请提供一种涂胶显影机的显影组件，包括：显影槽，所述显影槽内设置有晶圆载台，所述晶圆载台用于承载进行显影的晶圆；显影喷头，所述显影喷头位于所述显影槽内并位于所述晶圆载台的上方，且可沿第一方向移动；监测装置，所述监测装置设置在所述显影槽上，...
该专利属于北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司授权不得商用。

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