下载半导体结构及其形成方法的技术资料

文档序号:41242038

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本申请提供一种半导体结构及其形成方法,所述半导体结构,包括:基底,所述基底具有衬底及位于衬底表面的突出部;栅极,包覆所述突出部的侧壁,在垂直所述基底的方向上,所述栅极的高度小于所述突出部的高度;源极,位于所述突出部未被所述栅极覆盖的区域;漏...
该专利属于上海积塔半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海积塔半导体有限公司授权不得商用。

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