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本申请提供一种温度控制系统，用于对蚀刻设备的上电极的温度进行控制，包括：加热装置，用于对输入的气体进行加热，并向所述上电极输送加热后的气体；温度监测器，用于监测所述上电极的温度；温控器，与所述温度监测器连接，用于根据所述上电极的温度对所述加...
该专利属于中芯北方集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯北方集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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