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本发明提供一种基板处理装置和其使用的支承架。提供能够有效利用基板处理装置的维护操作等中使用的脚手架的下方空间的支承架。在为了支承具备多个处理室（１１０）的基板处理装置（１００）而设置在地面上的支承架（１４０）上，在距地面规定高度的部位以从处...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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