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本公开涉及一种叠加计量系统，其可包含：照明源，其经配置以产生一或多对相互相干照明光束；及照明光学器件，其用以将所述照明光束对以共同高度入射角及对称相对方位入射角引导到叠加目标，其中所述叠加目标包含沿着一或多个测量方向分布的两个或更多个光栅结...
该专利属于科磊股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过科磊股份有限公司授权不得商用。

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