【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开大体上涉及叠加计量，且更特定来说，涉及借助相互相干倾斜照明的暗场成像叠加计量。
技术介绍
1、叠加计量系统通常通过测量位于所关注层上的叠加目标特征的相对位置来表征样本的多个层的叠加对准。随着所制造特征的大小减小且特征密度增加，对表征这些特征所需的叠加计量系统的需求增加。因此，期望开发用以解决这些需求的系统及方法。
技术实现思路
1、根据本公开的一或多个说明性实施例，公开一种叠加计量系统。在一个说明性实施例中，所述系统包含用以在实施计量配方时产生一或多对照明光束的一或多个照明源，其中所述照明光束对中的每一者内的所述照明光束是相互相干的。在另一说明性实施例中，所述系统包含用以在实施所述计量配方时将所述照明光束对引导到样本上的叠加目标的一或多个照明光学器件，其中所述照明光束对中的特定者内的所述照明光束以共同高度入射角及对称相对方位入射角沿着选定照明方向引导到所述叠加目标。在另一说明性实施例中，根据所述计量配方的所述叠加目标包含沿着一或多个测量方向分布的两个或更多个光栅结构。在另一说明性实施例中，所述系统包含用以在实施所述计量配方时使所述叠加目标成像到一或多个检测器上的一或多个成像光学器件，其中所述两个或更多个光栅结构中的特定者的图像专门用来自所述照明光束对中的所述特定者内的所述照明光束中的每一者的单个非零衍射级的光来产生。在另一说明性实施例中，所述系统包含用以基于从所述一或多个检测器接收的所述叠加目标的一或多个图像确定沿着所述一或多个测量方向的叠加测量的控制器。
2、根
3、根据本公开的一或多个说明性实施例，公开一种叠加计量系统。在一个说明性实施例中，所述系统包含控制器。在另一说明性实施例中，所述控制器基于从一或多个检测器接收的一或多个叠加目标的一或多个图像来确定沿着一或多个测量方向的叠加测量。在另一说明性实施例中，根据计量配方的所述叠加目标包含沿着所述一或多个测量方向分布的两个或更多个光栅结构。在另一说明性实施例中，所述一或多个叠加目标的所述一或多个图像基于源于一或多对照明光束的照明来产生。在另一说明性实施例中，所述照明光束对中的每一者内的所述照明光束是相互相干的。在另一说明性实施例中，所述照明光束对中的特定者内的所述照明光束以共同高度入射角及对称相对方位入射角沿着选定照明方向引导到所述叠加目标。在另一说明性实施例中，所述两个或更多个光栅结构中的特定者的图像专门用来自所述照明光束对中的特定者内的所述照明光束中的每一者的单个非零衍射级的光来产生。
4、应理解，前文概述及下文详细描述两者仅是示范性及解释性的且不一定限制如所要求的本专利技术。并入本说明书中且构成本说明书的一部分的附图说明本专利技术的实施例且连同所述概述一起用于解释本专利技术的原理。
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1.一种叠加计量系统，其包括：
2.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中所述叠加目标上的所述两个或更多个光栅结构包括：
3.根据权利要求2所述的叠加计量系统，其中所述叠加目标包括：
4.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中所述叠加目标上的所述两个或更多个光栅结构包括：
5.根据权利要求4所述的叠加计量系统，其中所述叠加目标包括：
6.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中所述两个或更多个光栅结构包括：
7.根据权利要求6所述的叠加计量系统，其中所述一或多个照明源包含用以产生所述两对照明光束中的第一对的第一照明源及用以产生所述两对照明光束中的第二对的第二照明源。
8.根据权利要求6所述的叠加计量系统，其中所述一或多个照明源包含用以产生所述两对照明光束的单个照明源。
9.根据权利要求8所述的叠加计量系统，其中所述两对照明光束中的第一对中的所述照明光束相对于所述两对照明光束中的第二对中的所述照明光束非相干。
10.根据权利要求8所述的叠加计量系统，其中所述两对照明光束中的所有
11.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中所述两个或更多个光栅结构沿着单个测量方向定向，其中所述一或多对照明光束包含单对照明光束。
12.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中所述一或多对照明光束入射在所述样本上的覆盖所述叠加目标的共同光点上。
13.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中所述一或多个成像光学器件包含用以收集来自所述叠加目标的光的物镜，其中所述一或多个照明光学器件将所述一或多对照明光束引导到所述物镜的数值孔径(NA)外的所述叠加目标。
14.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中所述一或多个成像光学器件包含用以收集来自所述叠加目标的光的物镜，其中所述一或多个照明光学器件通过所述物镜将所述一或多对照明光束引导到所述叠加目标。
15.一种叠加计量方法，其包括：
16.一种叠加计量系统，其包括：
17.根据权利要求16所述的叠加计量系统，其中所述叠加目标上的所述两个或更多个光栅结构包括：
18.根据权利要求17所述的叠加计量系统，其中所述叠加目标包括：
19.根据权利要求16所述的叠加计量系统，其中所述叠加目标上的所述两个或更多个光栅结构包括：
20.根据权利要求19所述的叠加计量系统，其中所述叠加目标包括：
21.根据权利要求16所述的叠加计量系统，其中所述两个或更多个光栅结构包括：
22.根据权利要求21所述的叠加计量系统，其中所述一或多个照明源包含用以产生所述两对照明光束中的第一对的第一照明源及用以产生所述两对照明光束中的第二对的第二照明源。
23.根据权利要求21所述的叠加计量系统，其中所述一或多个照明源包含用以产生所述两对照明光束的单个照明源。
24.根据权利要求23所述的叠加计量系统，其中所述两对照明光束中的第一对中的所述照明光束相对于所述两对照明光束中的第二对中的所述照明光束非相干。
25.根据权利要求23所述的叠加计量系统，其中所述两对照明光束中的所有所述照明光束是相互相干的。
26.根据权利要求16所述的叠加计量系统，其中所述两个或更多个光栅结构沿着单个测量方向定向，其中所述一或多对照明光束包含单对照明光束。
27.根据权利要求16所述的叠加计量系统，其中所述一或多对照明光束入射在所述样本上的覆盖所述叠加目标的共同光点上。
28.根据权利要求16所述的叠加计量系统，其中一或多个成像光学器件包含用以收集来自所述叠加目标的光的物镜，其中所述一或多个照明光学器件将所述一或多对照明光束引导到所述物镜的数值孔径(NA)外的所述叠加目标。
29.根据权利要求16所述的叠加计量系统，其中所述一或多个成像光学器件包含用以收集来自所述叠加目标的光的物镜，其中所述一或多个照明光学器件通过所述物镜将所述一或多对照明光束引导到所述叠加目标。
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种叠加计量系统，其包括：
2.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中所述叠加目标上的所述两个或更多个光栅结构包括：
3.根据权利要求2所述的叠加计量系统，其中所述叠加目标包括：
4.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中所述叠加目标上的所述两个或更多个光栅结构包括：
5.根据权利要求4所述的叠加计量系统，其中所述叠加目标包括：
6.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中所述两个或更多个光栅结构包括：
7.根据权利要求6所述的叠加计量系统，其中所述一或多个照明源包含用以产生所述两对照明光束中的第一对的第一照明源及用以产生所述两对照明光束中的第二对的第二照明源。
8.根据权利要求6所述的叠加计量系统，其中所述一或多个照明源包含用以产生所述两对照明光束的单个照明源。
9.根据权利要求8所述的叠加计量系统，其中所述两对照明光束中的第一对中的所述照明光束相对于所述两对照明光束中的第二对中的所述照明光束非相干。
10.根据权利要求8所述的叠加计量系统，其中所述两对照明光束中的所有所述照明光束是相互相干的。
11.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中所述两个或更多个光栅结构沿着单个测量方向定向，其中所述一或多对照明光束包含单对照明光束。
12.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中所述一或多对照明光束入射在所述样本上的覆盖所述叠加目标的共同光点上。
13.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中所述一或多个成像光学器件包含用以收集来自所述叠加目标的光的物镜，其中所述一或多个照明光学器件将所述一或多对照明光束引导到所述物镜的数值孔径(na)外的所述叠加目标。
14.根据权利要求1所述的叠加计量系统，其中所述一或多个成像光学器件包含用以收集来自所述叠加目标的光的物镜，其中所述一或多个照明光学器件通过所述物镜将所述一或多对照明光束引导到所述叠加目标。
15.一种叠加计量方法，其包括：
【专利技术属性】
技术研发人员：A·V·希尔，V·莱温斯基，D·内格里，A·玛纳森，Y·瓦克宁，
申请(专利权)人：科磊股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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