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本发明公开了一种基于模板匹配的硅片表面缺陷检测方法及系统，包括，采集良品硅片图像，进行自动全局阈值分割及矩形分割获取感兴趣区域；将滤波后图像进行金字塔操作，创建对应的形状轮廓，构建差异模型；利用标准硅片的训练图像对差异模型进行训练，对差异模...
该专利属于广东工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过广东工业大学授权不得商用。

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