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用于提供射束以用于分类和标识与带电粒子射束系统的样品相关联的故障机制的装置、系统和方法。在一些实施例中，一种方法可以包括：分析样品的多个第一电压对比度图像以标识多个缺陷；以及分析多个缺陷的子集的图案，以确定多个缺陷的子集的故障机制。...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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