下载芯片外观检测装置及芯片的技术资料

文档序号:41200540

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本申请提供一种芯片外观检测装置、芯片。检测装置包括:芯片装夹部件和第一光学检测器,第一光学检测器设置在芯片装夹部件的一侧,用于在第一位置对芯片装夹部件上的芯片进行外观检测;芯片装夹部件包括:旋转盘、定位齿和固定架;旋转盘用于传输芯片至与第一...
该专利属于海宁集成电路与先进制造研究院所有,仅供学习研究参考,未经过海宁集成电路与先进制造研究院授权不得商用。

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