下载暂存基板及芯片转移方法的技术资料

文档序号:41188562

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本发明涉及一种暂存基板及芯片转移方法。暂存基板结构包括:暂存基板;弹性层,位于暂存基板的表面;抽气管路,位于暂存基板内;吸附孔,位于弹性层远离暂存基板的表面,与抽气管路相连通;吸附孔用于吸附芯片;抽气装置,与抽气管路相连接。本发明的暂存基板...
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