温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本公开涉及一种湿法单片制程设备、基板承载座以及基板固定件，基板固定件包括本体。本体设有排液通道，本体设有抵接部，抵接部设有进液口，进液口的相对两个口壁用于与基板边缘抵接固定，进液口与排液通道相连通，排液通道用于将进液口进入的处理液向外引出。...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。