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本发明公开了一种高精度晶圆载台及其调节方法，高精度晶圆载台包括支撑盘、载盘和顶升机构，支撑盘包括盘体、中心体、第二密封圈和间隙调节机构，盘体的中心设有安装孔，中心体安装于安装孔内且能够沿安装孔轴线移动，中心体的上端设有所述定位凸部，中心体上...
该专利属于泰微科技（珠海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过泰微科技（珠海）有限公司授权不得商用。

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