下载半导体结构及制备方法的技术资料

文档序号:41179584

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本公开实施例涉及半导体领域,提供一种半导体结构及制备方法,制备方法包括:提供基底,基底包括多个芯片区以及位于相邻的芯片区之间的切割道区,切割道区具有第一待测区,芯片区的基底上具有第一金属层,第一待测区的基底上具有第二金属层;形成介质膜,介质...
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