下载多元素超分辨率光学检验系统的技术资料

文档序号:41179211

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本发明公开一种方法。所述方法可包含利用第一检验子系统产生样本的第一光学图像。所述第一光学图像可在第一时间区间在第一组光致发光标记正发射光致发光照明时产生。所述方法可包含利用额外检验子系统产生额外光学图像。所述额外光学图像可在额外时间区间在额...
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