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本技术涉及金刚石生产领域，尤其涉及一种基片台调整装置。基片台调整装置包括基座，基座的座体上设置有定位结构和安装结构，基座还包括用于避让MPCVD设备的基片台的避让结构，安装结构设置有至少三个，多个安装结构用于围绕所述基片台间隔布置。通过设置...
该专利属于河南天璇半导体科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南天璇半导体科技有限责任公司授权不得商用。

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