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公开了自动模拟生成装置和用于自动设计半导体装置的系统。一种用于确定用于制造半导体装置的目标配方集的适用性的方法包括：通过基于目标配方集搜索数据库来获得参考配方集，参考配方集与目标配方集具有阈值内的相似度；基于数据库、目标配方集和参考配方集执...
该专利属于三星电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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