【技术实现步骤摘要】
示例实施例总体上涉及半导体集成电路，并且更具体地涉及在半导体设计工艺中基于数据库的自动模拟方法(或被称为，自动仿真方法)、执行自动模拟方法的自动模拟生成装置、执行自动模拟方法的半导体设计自动化系统、以及使用自动模拟方法的半导体装置的制造方法。
技术介绍
1、由于半导体的高集成度和小型化，半导体装置可能被制造具有非预期的电特性。技术计算机辅助设计(tcad)是用于设计电子系统(诸如，集成电路和印刷电路板)的一类软件工具，可用于减少这些非预期的电特性。用于执行tcad的软件工具可用于理解电现象和/或降低实验成本。软件工具可用于模拟半导体装置、模拟半导体设计工艺或模拟半导体装置的电路。然而，当前的软件工具不提供半导体装置的精确产品规范。
技术实现思路
1、本公开的至少一个实例实施例提供自动模拟方法，该自动模拟方法能够基于模拟数据和真实数据被加载在其中的数据库来自动地和/或高效地模拟半导体设计阶段中的半导体工艺模型和/或半导体装置模型。
2、本公开的至少一个示例实施例提供执行自动模拟方...
【技术保护点】
1.一种存储程序代码的非暂时性计算机可读介质，所述程序代码用于确定用于制造半导体装置的目标配方集的适用性，所述程序代码在由处理器执行时使得所述处理器：
2.根据权利要求1所述的非暂时性计算机可读介质，其中，获得参考配方集的步骤包括：
3.根据权利要求2所述的非暂时性计算机可读介质，其中，
4.根据权利要求1所述的非暂时性计算机可读介质，其中，预测所述缺陷的概率的步骤包括：
5.根据权利要求4所述的非暂时性计算机可读介质，其中，
6.根据权利要求1所述的非暂时性计算机可读介质，其中，生成目标脚本集的步骤包括：<...
【技术特征摘要】
1.一种存储程序代码的非暂时性计算机可读介质，所述程序代码用于确定用于制造半导体装置的目标配方集的适用性，所述程序代码在由处理器执行时使得所述处理器：
2.根据权利要求1所述的非暂时性计算机可读介质，其中，获得参考配方集的步骤包括：
3.根据权利要求2所述的非暂时性计算机可读介质，其中，
4.根据权利要求1所述的非暂时性计算机可读介质，其中，预测所述缺陷的概率的步骤包括：
5.根据权利要求4所述的非暂时性计算机可读介质，其中，
6.根据权利要求1所述的非暂时性计算机可读介质，其中，生成目标脚本集的步骤包括：
7.根据权利要求6所述的非暂时性计算机可读介质，其中，获得目标脚本集的步骤包括：
8.根据权利要求6所述的非暂时性计算机可读介质，其中，获得目标脚本集的步骤包括：
9.根据权利要求6所述的非暂时性计算机可读介质，其中，获得目标脚本集的步骤包括：
10.根据权利要求6所述的非暂时性计算机可读介质，其中，生成目标脚本集的步骤包括：从目标配方集提取晶片信息、工艺步骤信息和单元工艺描述信息，并且基于晶片信息、工艺步骤信息和单元工艺描述信息来应用设计规则。
11.根据权利要求10所述的非暂时性计算机可读介质，其中，
12.根据权利要求1所述的非暂时性计算机可读介质，其中，确...
【专利技术属性】
技术研发人员：韩松伊，都支星，朴真佑，李艺路，李炫庚，郑载勳，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：
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