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本发明涉及一种半导体晶圆。根据实施例的半导体晶圆包括：监测图案结构，其设置在衬底之上；覆盖图案层，其在衬底之上覆盖部分监测图案结构；以及接触图案，其设置在覆盖图案层之上以在覆盖图案层之上延伸。...
该专利属于爱思开海力士有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过爱思开海力士有限公司授权不得商用。

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