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本发明实施例提供了一种半导体工艺设备的晶片调度方法和半导体工艺设备，该方法包括：获取在模块的运行状态、晶片的工艺状态和晶片的位置下的可移动晶片列表；遍历可移动晶片列表，按照分枝生成规则，生成每个可移动晶片对应的分枝；分枝为机械手按照待调度晶...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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