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一种用于悬浮抛光的基盘，包括基盘本体，所述基盘本体和研磨盘之间设有工作间隙，所述基盘本体呈圆环，其特征在于：在所述基盘本体的底部设有楔形槽，所述楔形槽呈径向布置，所述楔形槽的外圆端与所述基盘本体的底面相接，所述楔形槽的内圆端内凹，多个楔形槽...
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