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基板处理装置(10)的基板处理模块(14)具有：第一槽(32)和第二槽(30)，在第一方向上排列，能配置基板；第一输送部(34、36)，使基板(W)移动至第二槽(30)和第一槽(32)内；以及第二输送部(20)，在与第一方向交叉的第二方向上...
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