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本申请提供一种合金薄膜成分的测试方法，该方法包括：提供衬底，在衬底上形成材料相同且相互独立的合金薄膜第一区块和多个合金薄膜第二区块，合金薄膜第二区块之间的距离小于合金薄膜的特征扩散长度；对各个合金薄膜第二区块进行光学表征，得到对应的光谱数据...
该专利属于中国电子科技集团公司第二十四研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第二十四研究所授权不得商用。

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