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计算机系统、尺寸测量方法以及半导体装置制造系统制造方法及图纸
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文档序号:41134522
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提供一种计算机系统,提供从图像数据提取用于测量该图像数据的图案的所期望部位的尺寸的基点的坐标信息并使用该基点的坐标信息来测量所述尺寸的功能,在该计算机系统中,具备:前处理部,即使在学习器中使用的学习数据集中混合存在记载了全部基点的坐标的样本...
该专利属于株式会社日立高新技术所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。
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