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本申请实施例提供了一种加热装置及其控制方法、以及化学气相沉积设备，其中，所述加热装置包括：第一加热元件和第二加热元件；所述第一加热元件包括第一加热丝，所述第二加热元件包括第二加热丝，所述第一加热丝的横截面面积大于所述第二加热丝的横截面面积，...
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