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本申请实施例提供了一种磁控管装置及半导体工艺设备，其中，磁控管装置包括基座、第一滑动座、磁控管组件、旋转驱动器和传动组件；第一滑动座与基座滑动连接，磁控管组件包括第一磁控管和第二磁控管，第一磁控管设置于基座，第二磁控管设置于第一滑动座，旋转...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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