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本申请公开了一种除泡装置、清洗介质循环装置、清洗装置及清洗方法，除泡装置用于打碎流体中的气泡，包括：腔体，包括流体入口和流体出口；支架，设置在所述腔体的内部；转轴，与所述支架连接，并且相对所述支架可转动；至少一个叶轮，设置于所述转轴靠近所述...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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