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本发明的基片载置机构包括载置基片的载置台和对载置台上的基片的电子器件的温度进行控制的温度控制部。载置台具有顶板、被划分为多个加热区的加热部和多个温度传感器，温度控制部具有：第一温度控制器，其对于与检查中的电子器件对应的一个或多个加热区的输出...
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