下载用于巨量转移设备的龙门机构的技术资料

文档序号:41117064

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本技术涉及芯片转移设备领域,提供了一种用于巨量转移设备的龙门机构,包括横梁、第一横向单元和第二横向单元;第一横向单元包括第一溜板和第一直线电机,第一溜板用于安装刺晶单元,第一直线电机驱动第一溜板沿横梁横向移动,第一溜板设置用于形成气浮导轨的...
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