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本申请提供了一种晶圆检测装置，所述晶圆检测装置包括基座、光源、感光器件、以及数据处理单元。所述基座用于放置晶圆；所述光源，设置于所述基座上方，照射所述晶圆；所述感光器件，设置于所述基座上方，采集所述晶圆表面的反射光线信息；所述数据处理单元，...
该专利属于上海积塔半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海积塔半导体有限公司授权不得商用。

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