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本发明涉及一种极紫外光源收集镜的制备方法及加工设备，该方法包括步骤：镜坯制作；基底表面初步加工；制备硅改性层；硅改性层表面抛光；对收集镜的面型精度与粗糙度进行检测；光刻加工收集镜表面的光栅结构；光栅结构加工精度检测；在光栅结构表面镀膜；检测...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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