下载基于2D重叠判断的光刻热点检测方法的技术资料

文档序号:41109901

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本发明涉及芯片制造技术领域,尤其涉及一种基于2D重叠判断的光刻热点检测方法,该方法包括以下步骤:根据芯片2D版图中的电路模块,划分出多个正交多边形,其中,基于预设分解方法对所述正交多边形进行矩形分解;根据芯片2D版图中划分出来的所述正交多边...
该专利属于广东工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东工业大学授权不得商用。

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