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本技术涉及一种干法刻蚀设备用便于检修的真空管路，在干式真空泵与工艺腔体之间的真空管路上设置若干法兰及开关阀，将真空管路分割为若干段可拆卸检修的管路；每段可拆卸检修的管路的两端的开关阀外设有支管接头；在两个支管接头上，分别设有支管阀及支管法兰...
该专利属于盛合晶微半导体（江阴）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盛合晶微半导体（江阴）有限公司授权不得商用。

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