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TEG电路、半导体器件、以及TEG电路的测试方法技术
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文档序号:41098580
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实施例提供了一种测试元件组(TEG)电路,包括:第一焊盘,被配置为接收要供应的测试电压;放大器,包括连接到第一焊盘的第一输入端子、连接到测试晶体管的第一端子的第二输入端子、以及电连接到第二输入端子的输出端子;可变电阻器,包括连接到放大器的输...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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