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本发明涉及光刻技术领域，具体公开了一种光刻胶打胶系统及打胶方法，其中，光刻胶打胶系统包括控制器及依次通过管路连接的供压组件、光刻胶罐、缓冲罐、排泡过滤组件、回吸阀及喷嘴；排泡过滤组件和回吸阀之间的管路上设有流量计，光刻胶罐为两个，且两者之间...
该专利属于广州市艾佛光通科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州市艾佛光通科技有限公司授权不得商用。

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