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提供半导体装置及其制造方法。在半导体装置(1、2、3、4、5)中，在将半导体衬底俯视时，被在第1方向上相邻的沟槽栅(30)夹着的半导体衬底(10)的一部分具有沿着与第1方向正交的第2方向延伸的主干部(16A)和从主干部突出的分支部(16B)...
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