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悬吊型谐振器制造技术
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文档序号:41085240
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本发明提供一种悬吊型谐振器,包括振动结构、第一电极及第二电极。振动结构包括振动区、框部及连接部。振动区包括平板部及增厚部,平板部具有相对的第一表面与第二表面,增厚部环绕平板部的中央部分,且平板部的边缘部分夹设于增厚部中,其中增厚部的厚度大于...
该专利属于台湾晶技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾晶技股份有限公司授权不得商用。
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