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键合装置以及封装方法制造方法及图纸
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下载键合装置以及封装方法的技术资料
文档序号:41065363
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本公开实施例提供一种键合装置以及封装方法,键合装置包括产热部,产热部用于产生热量;键合头,键合头用于与待封装结构中的顶部芯片表面相接触,并向顶部芯片传导产热部产生的热量,键合头包括第一键合头和第二键合头,第一键合头和第二键合头分别用于与顶部...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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