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本文提供了用于涂覆处理反应器部件零件的方法及设备。在一些实施方式中，零件涂覆反应器包括：下主体及盖组件，所述下主体及所述盖组件共同限定及包围内部容积；一或更多个加热器，所述一或更多个加热器设置在所述盖组件中；一或更多个冷却剂通道，所述一或更...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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