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本申请提供了一种气体供应装置及外延设备，气体供应装置包括：第一供气单元；第二供气单元；气量控制单元，与第一供气单元和第二供气单元连通，用于在第一供气单元剩余气量小于一阈值时，逐渐减小第一供气单元的第一供气量，同时开启并逐渐增加第二供气单元的...
该专利属于杭州富芯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州富芯半导体有限公司授权不得商用。

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