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本发明涉及谐振器制备技术领域，尤其涉及一种可调谐薄膜体声波谐振器的制备系统，包括准备单元，构建单元，用以形成初级谐振器；刻画单元，用以对初级谐振器以预设刻画深度进行蚀刻以形成薄膜结构确定谐振频率，并形成次级谐振器；附着单元，用以形成待检谐振...
该专利属于华南理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过华南理工大学授权不得商用。

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