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一种多晶硅电阻及其建模方法、系统技术方案
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下载一种多晶硅电阻及其建模方法、系统的技术资料
文档序号:41013464
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本申请提供一种电阻模型的建模方法,应用于半导体器件建模技术领域,包括:建立多晶硅电阻的本体对应的第一电阻模型,第一电阻模型用于表征所述本体对应的电阻大小;建立所述本体两端对应的第二电阻模型,第二电阻模型用于表征所述本体端部的电阻大小;其中,...
该专利属于上海积塔半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海积塔半导体有限公司授权不得商用。
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