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提供了通过模型指纹相对于工艺变量和缺陷的变化率进行的工艺模型的灵敏度计算。生成指纹灵敏度表，在该指纹灵敏度表中，工艺变量与一组指纹灵敏度相关联。通过应用在该工艺模型中使用的相同指纹方法，在生产过程中监测来料衬底的指纹。对该来料衬底的指纹与该...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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