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本技术公开了一种晶圆平边对齐装置，包括机架、第一轴和第二轴，所述机架上设有多个滑槽，多个滑槽沿其厚度方向平行间隔布置以适于容纳多个晶圆，所述晶圆的外周轮廓包括圆弧边和平边，所述圆弧边可抵接于所述滑槽内以使所述晶圆在所述滑槽内可沿其周向转动；...
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