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本发明公开了一种微波诱导等离子体蚀刻的方法及系统装置，属于技术等离子体蚀刻领域，其包括工控机、等离子腔体、工件，所述工控机电性连接有显示器，所述工控机电性连接有微波发生器，所述微波发生器通过同轴线缆连接于等离子腔体，所述等离子腔体上设有观察...
该专利属于苏州弗为科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州弗为科技有限公司授权不得商用。

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