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一种玻璃通孔电铸铜实心填充的方法及装置制造方法及图纸
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下载一种玻璃通孔电铸铜实心填充的方法及装置的技术资料
文档序号:41000399
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本发明公开了一种玻璃通孔电铸铜实心填充的方法及装置,通过将待填充的玻璃通孔(TGV)固定在电铸阴极板上使之沿垂直阳极板方向进行周期性往复运动,使电铸液能有效流入和流出TGV深孔中,从而确保TGV孔内各处离子浓度分布的均匀一致性,减缓浓差极化...
该专利属于南京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京航空航天大学授权不得商用。
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