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本技术公开了一种可更换多组晶圆的托举结构，包括基座和承片台，所述承片台设置有两个，所述承片台的底部与基座顶部的两侧固定连接，所述基座的顶部固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有螺杆，所述螺杆表面的底部螺纹连接有螺套。本技术通过设置承片台...
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