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本发明公开了一种失效分析的方法以及系统装置，属于半导体领域芯片失效分析领域，其包括一种失效分析的系统装置，包括激光束源；第一机构；第二机构；一种失效分析的方法，包括：S1、产生激光束；S2、通过由高速电流计电动机驱动的至少一个反射板引导激光...
该专利属于苏州弗为科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州弗为科技有限公司授权不得商用。

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